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半導體晶圓自動光學檢測(AOI)運動系統是半導體制造過程中的核心檢測裝備,主要用于晶圓表面缺陷的高精度檢測。
AOI檢測運動系統用于面板制程缺陷檢測,提升顯示面板良率與生產效率。
AOI檢測運動系統用于新能源電池高精度缺陷檢測與工藝優化。
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2023.12
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